真空チャンバー炉, メタル材断熱 - HTK
カーボライト・ゲロの高温炉の金属製HTKシリーズは、モリブデンまたはタングステン製の金属ヒーターで構成されています。
金属製のHTKシリーズには4種類のサイズがある。容量が8リットルと25リットルの小型のHTKは通常、研究開発用のラボで使用される。80リットルと120リットルの大型炉は、主にパイロット生産システムや大規模生産に利用されます。これらの炉の前面扉は搬出入を容易にします。
金属炉にはタングステン (HTK W) またはモリブデン (HTK MO) が使用され、不活性雰囲気の純度と最終的な真空度が最高レベルに保たれます。ご要望に応じて、高真空アップグレードも可能です。最も一般的に使用されるガスは、窒素、アルゴン、水素およびその混合ガスです。
HTKシリーズは、タングステン（HTK W）またはモリブデン（HTK MO）製の発熱体と断熱材を採用しています。レトルトは、特に脱脂用途や温度の均一性を高めるために、ガスの流れを誘導するために利用できます。HTK Wの最高温度は2200℃、HTK MOの最高温度は1600℃です。
商品動画: 真空チャンバー炉, メタル材断熱 - HTK
カーボンフリー雰囲気, 金属射出成形（MIM）, メタリゼーション, 焼結, 脱脂, 熱分解, 合成, 焼きなまし, 焼き戻し
| 電気炉タイプ | 使用可能量 | 最高温度 | 加熱ゾーン数 | 脱脂オプション | HTK 8 MO/W | 8 | 1600 ℃ / 2200 ℃ | 1 | トーチ／凝縮水トラップ | HTK 25 MO/W | 25 | 1600 ℃ / 2200 ℃ | 1 | トーチ／凝縮水トラップ |
| HTK 80 MO | 80 | 1600 ℃ | 4 | トーチ／凝縮水トラップ |
| HTK 120 MO | 120 | 1450 ℃ | 4 | トーチ／凝縮水トラップ |
必要なインフラ
レトルト内の使用可能スペース 高さ×幅×奥行 [mm］
プレート数*
プレート寸法[cm²]
サンプルラックの写真
160 x 180 x 180
3
225
240 x 240 x 400
3
860
380 x 410 x 500
40
930
380 x 400 x 770
60
930
* 表示されている数値は、典型的なレトルトのレイアウトを示しています。具体的な配置はお客様のご要望に応じてカスタマイズ可能です。
HTK-MIM-3電気炉プログラムは、MIMコンポーネントの脱脂と焼結を2段階で行います。プログラムの進行状況は図に表示され、圧力、ガス流量、ガス種などの重要なパラメーターが記録されます。脱脂ステージでは分圧と高窒素ガスフローを利用し、焼結ステージでは温度の均一性に重点を置き、MIM部品の密度を一定にします。
HTK 8 - 80炉の構成は以下の通りです：
HTK 8モリブデンの断面を例に、炉の重要な部分を説明します。
HTK 120炉は、以下のような構成になっています：
HTK 120のヒーティングカセット、CAD図面。最高の寿命と容易なメンテナンスのために設計されています。
アフターバーナーのトーチにより、燃えやすい揮発性物質や毒性のある揮発性物質を不燃性のガスに制御して変換することができます。
バインダー処理のために、凝縮トラップを設置することがあります。プロセス中、トラップは冷却され、バインダーを凝縮します。プロセス終了後、トラップを加熱して、液化したバインダーを安全に放出することができます。
独立した安全パージタンクで、水素アプリケーションの完全な安全性を確保します。タンク内が完全に満たされた場合のみ、炉を起動することができます。そのため、停電などの重大なエラーに備えて、炉内は窒素ガスで満たされます。サイズは、炉の容積に応じて調整します。
HTK 120の加熱ガス出口と真空ライン
独立型安全パージタンク
高真空アップグレードにより、リーク率は10-3mbar*l/sを下回る値を示しています。リーク率は、炉内を排気し、すべてのバルブを閉じて、時間の経過とともに圧力が上昇するのを確認することで決定されます。金属表面からの水分子の脱離には約20時間かかり、青い線で表されるように、より速い圧力上昇につながります。
制御された実験室条件下で測定されたものです。測定結果は、ガス流量、真空度、試料のサイズや密度など、プロセス固有の変数によって異なる場合があります。
制御された実験室条件下で測定されたものです。測定結果は、ガス流量、真空度、試料のサイズや密度など、プロセス固有の変数によって異なる場合があります。
高真空アップグレードしたHTK 8の断面図。ターボポンプは少なくともDN100フランジを介して接続されています。
高真空アップグレード
高真空用ターボ分子ポンプの模式図。
電気炉は12インチまたは19インチのタッチパネル式コントローラーで操作します。タッチパネルは電気炉の概観と動作を表示し、ユーザーは電気炉の調整を行うことができます。
使いやすい12インチタッチパネル
| Size of Panel | 12" |
| Number of programs | 12 |
| Export data | .csv |
| Remote access | あり |
| キーボード | なし |
| Remote maintenance | なし |
| Online changes | なし |
| MFC | あり |
| Rotameter | あり |
| Heated gas outlet | あり |
| Turbopump | あり |
| Hydrogen | なし |
| Partial pressure | なし |
| Sliding TC | あり |
| Size of Panel | 19" |
| Number of programs | 20 |
| Export data | .csv |
| Remote access | With Siemens software |
| キーボード | 別売りアクセサリ |
| Remote maintenance | 別売りアクセサリ |
| Online changes | あり |
| MFC | あり |
| Rotameter | なし |
| Heated gas outlet | あり |
| Turbopump | あり |
| Hydrogen | あり |
| Partial pressure | あり |
| Sliding TC | あり |
チャンバー炉は前面装入コンセプトにより、装入・取出しが非常に簡単です。小型炉は手動で、大型炉は手動フォークリフトで装入できます。水冷式真空容器は長方形で、非常にコンパクトに設計されています。そのため、作業場に大きなスペースを必要とせず、研究室にも最適です。HTK型炉はすべて1本のフレームに搭載され、世界中の顧客に容易に納入できます。ただし、炉の容積が大きい場合は、HTK 120 のように円筒形の炉容器を採用します。
これはプロセスによります。ステンレス鋼、316L、チタンなど、特に部品の性能が重視される場合、黒鉛炉では熱処理できない材料もあります。このような場合、高純度雰囲気や水素、高真空が可能な金属炉が推奨されます。
黒鉛炉では、1000℃を超えると水素が黒鉛の発熱体や断熱材と反応する。温度が高ければ高いほど、グラファイト部品の磨耗が早くなり、炭化水素が発生し、試料と反応する。金属炉では、純粋な雰囲気が得られます。
炉室内の材料のばらつきが少ないほど、炉内のクロスコンタミネーションは少なくなります。その結果、炉内の雰囲気はより純粋になります。さらに、沸点が高く蒸気圧の低い金属を使用するため、作業真空度も向上します。Carbolite Gero 真空炉の設計は、非常に低いエネルギー消費を保証する多層の放射シールドで構成されています。これらの層は熱放射を反射する「鏡」のように作用し、炉を断熱します。残りの熱は、真空容器を取り囲む冷却水によって取り除かれます。
Carbolite Geroは、10～1000mbarの間で圧力レベルを調整することができます。可変圧力により、お客様はガス密度を調整することができ、その結果レイノルズ数を任意に調整することができます。これにより、減圧下でのガスの流れが確実になり、バインダーを低温で蒸発させることができます。これは多くの用途に有利である。しかし、水素分圧を安全に取り扱うには、多くの専門知識が必要です。当社では、このような条件下での完全な安全性を確保するために、専用のソフトウェアとハードウェア・ソリューションを使用しています。
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